Pihustamine on üks peamisi füüsikalise aurustamise-sadestamise (PVD) tehnoloogiaid, mida kasutatakse korduvalt VLSI valmistamisel. See kasutab iooniallika tekitatud ioone, et kiirendada akumuleerumist kõrgvaakumis, moodustades kiire ioonkiire, pommitades tahket pinda, ioone ja aatomiemissiooni tahkel pinnal. Kineetilise energia vahetus põhjustab tahkel pinnal olevate aatomite lahkumist tahkest ainest ja ladestumist aluspinnale. Pommitatud tahke aine on toormaterjal, mida kasutatakse õhukeste kilede sadestamiseks pihustusmeetodil, mida nimetatakse pihustusobjektiks.

   Üldiselt koosneb pihustussihtmärk peamiselt sihtmärgist, tagaplaadist ja muudest osadest. Nende hulgas on sihtmärk materjal, mida pommitab kiire ioonkiir ja mis kuulub pihustusobjekti põhiosasse. Pommitamisprotsessis pihustatakse pärast seda, kui ioon on tabanud sihttooriku pinnaaatomid ja sadestatakse substraadile, moodustades elektroonilise kile; kõrge puhtusastmega metalli madala tugevuse tõttu toodetakse pihustav sihtmaterjal pihustamise teel. Pritsimisprotsess tuleb paigaldada spetsiaalsele platvormile. Platvormi sisekeskkond on kõrgepinge ja kõrgvaakum. Seetõttu tuleb ülikõrge puhtusastmega metallist pihustusobjektiivi toorik tagaplaadiga ühendada erinevate keevitusprotsesside kaudu. Tagaplaat mängib peamist rolli pihustusobjekti fikseerimisel ning sellel peab olema hea juhtivus ja soojusjuhtivus.

   Pritsimise sihtmaterjale on palju erinevaid, isegi samal materjalil on erinevad spetsifikatsioonid. Erinevate klassifitseerimismeetodite kohaselt saab pihustusobjektid jagada erinevatesse kategooriatesse, põhiline klassifikatsioon on järgmine:

   Klassifikatsioon kuju järgi: pikk märklaud, kandiline ja ümmargune märklaud

   Klassifitseeritud keemilise koostise järgi: metalli sihtmärk (puhas metallalumiinium, titaan, vask, tantaal jne), sulami sihtmärk (nikli-kroomi sulam, nikli-koobalti sulam jne), keraamilise ühendi sihtmärk (oksiid, silitsiid, karbiid, sulfiid) , jne.)

   Klassifitseeritud rakendusvaldkonna järgi: pooljuhtkiibi sihtmärk, lameekraan, päikesepatarei, teabesalvestus, tööriistaga muudetud, elektrooniline seade, muu sihtmärk